ВВЕДЕНИЕ
Получение достоверных результатов измерений как самих параметров лазеров, так и выходных характеристик лазерных приборов и систем имеет свою специфику, поскольку лазерное излучение характеризуется некоторыми особенностями: широким спектральным (0,2 мм...1 мм) и динамическим диапазоном (120...200 дБ), малой длительностью импульсов (до 0.1 пс), высокой плотностью мощности (до 109 Вт/см2), энергии и т.п. Система характеристик и параметров ров лазеров и лазерного излучения лазерных приборов установлена ГОСТ 15093-75, ГОСТ 24453-80 и ГОСТ 23778-79, в соответствии с которыми осуществляется контроль изделий лазерной техники на этапе выпуска продукции и при их эксплуатации (табл.1).
Таблица 1
|Параметр, |Единица |Определение |Обозначе|
|характеристика |измерени| |-ние |
| |я | | |
|Энергетические параметры и характеристики |
|Энергия |Дж |Энергия, переносимая |W |
| | |лазерным излучением | |
|Мощность |Вт |Энергия, переносимая |P |
| | |лазерным излучением в | |
| | |единицу времени | |
|Интенсивность | |Величина, пропорциональная |J |
| | |квадрату амплитуды | |
| | |электромагнитного колебания | |
|Спектральная |Дж(Гц-1 | |W(, W( |
|плотность энергии|Вт(Гц-1 | |(P(,P() |
|(мощность) | | | |
|Средняя мощность |Вт | |Pu,ср |
|импульса | | | |
|Максимальная |Вт | |Pu, max |
|мощность импульса| | | |
|Спектральные параметры и характеристики |
|Длина волны | | |( |
|Частота | | |( |
|Ширина | | |(( |
|спектральной | | |(( |
|линии | | | |
|Степень | | |((/( |
|хроматичности | | |((/( |
|Пространственно-временные параметры и характеристики |
|Диаграмма | |Угловое распределение | |
|направленности | |энергии или мощности | |
| | |лазерного излучения | |
|Диаметр пучка |м |Диаметр поперечного сечения |d |
| | |пучка лазерного излучения, | |
| | |внутри которого проходит | |
| | |заданная доля энергии или | |
| | |мощности лазера | |
|Расходимость |рад, |Плоский или телесный угол, |QP |
| |ср |характеризующий ширину | |
| | |диаграммы направленности | |
| | |лазерного излучения в | |
| | |дальней зоне по заданному | |
| | |уровню углового | |
| | |распределения энергии или | |
| | |мощности лазерного | |
| | |излучения, определяемому по | |
| | |отношению к его | |
| | |максимальному значению | |
|Энергетическая |рад, |Плоский или телесный угол, |(S |
|расходимость |ср |внутри которого | |
| | |распространяется заданная | |
| | |доля энергии или мощности | |
| | |лазерного излучения | |
|Относительное | |Распределение плотности |(W,P,(W,|
|распределение | |энергии (мощности) излучения|S |
|плотности энергии| |по сечению лазерного пучка, | |
|(мощности) | |нормированное относительно | |
| | |максимального значения | |
| | |плотности энергии (мощности)| |
|Частота |Гц |Отношени числла импульсов |F |
|повторения | |лазерного излучения ко | |
|импульсов | |времени | |
|Длительность |с | |(u |
|импульсов | | | |
|Параметры когерентности |
|Степень | |Модуль комплексной степени |((12(()(|
|пространственно-в| |пространственно-временной | |
|ременной | |когерентности при | |
|когерентности | |фиксированных координатах | |
| | |точки в пространстве и | |
| | |времени, равный: | |
| | |, где 0(((12(()((1, | |
| | |(12(() — функция взаимной | |
| | |когерентности,(11((),(22(() | |
| | |— функции взаимной | |
| | |когерентности для точек | |
| | |пространства с | |
| | |радиус-векторами r1,r2 | |
| | |соответственно при (=0 | |
|Степень | |Модуль комплексной степени |((12(О)(|
|пространственной | |временной когерентности для | |
|когерентнсти | |фиксированной точки | |
| | |пространства, равный | |
| | |, где (12(() — функция | |
| | |пространственной | |
| | |когерентности | |
|Степень временной| |Модуль комплексной степени |((11(()(|
|когерентности | |временной когерентности для | |
| | |фиксированной точки | |
| | |пространства, равный | |
| | |, где Г11(() — функция | |
| | |взаимной когерентности для | |
| | |точки пространства с | |
| | |радиусом-векторм r1 | |
|Время |с |Минимальное запаздывание, | |
|когерентности | |для которого степень | |
| | |временной когерентности | |
| | |принимает значение равное | |
| | |нулю | |
|Длина |м |Произведение времени |(К |
|когерентности | |когерентности на скорость | |
| | |электромагнитного излучения | |
| | |в вакууме | |
|Параметры поляризации |
|Плоскость | |Плоскость, проходящая через | |
|поляризации | |направление распространения | |
| | |линейно-поляризованного | |
| | |лазерного излучения и | |
| | |направление его | |
| | |электрического вектора | |
|Эллиптичность | |Отношение малой полуоси | |
|поляризованного | |эллипса, по которому | |
|лазерного | |поляризовано лазерное | |
|излучения | |излучение к его большой | |
| | |полуоси | |
|Степень | |Отношение интенсивности | |
|поляризации | |поляризованной составляющей | |
| | |лазерного излучения к полной| |
| | |его интенсивности | |
ИЗМЕРЕНИЕ ЭНЕРГЕТИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ И ХАРАКТЕРИСТИК ЛАЗЕРНОГО
ИЗЛУЧЕНИЯ
Для измерения энергетических параметров лазерного излучения могут использоваться самые разнообразные методы, основанные на различных физических и химических эффектах взаимодействия лазерного излучения с веществом, последнее может находиться в любом агрегатном состоянии. Однако наиболее широкое распространение получили методы, основанные на преобразовании энергии лазерного излучения в тепловую энергию (тепловой метод) и в энергию электрического тока (фотоэлектрический и пироэлектрический методы). Реже применяется пондеремоторный метод, основанный на преобразовании энергии лазерного излучения в механическую энергию.
Измерение мощности и энергии лазерного излучения
Существующие средства измерения (СИ) энергетических параметров лазерного излучения содержат приемный (первичный) измерительный преобразователь (ПИП), измерительное устройство, а также отсчетное, или регистрирующее устройство. В ПИП энергия лазерного излучения преобразуется в тепловую или в механическую энергию или в электрический сигнал, доступные для дальнейшего преобразования и измерения.
Различают ПИП поглощающего и проходного типа. В преобразователях поглощающего типа поступающая на вход энергия лазерного излучения почти полностью поглощается и рассеивается в нем. В преобразователях проходного типа рассеивается лишь часть поступившей на вход энергии излучения (как правило небольшая), а большая чисть изучения проходит через преобразователь и может быть использована для требуемых целей.
Измерительное устройство включает преобразовательные элементы и измерительную цель. Их назначение — преобразование выходного сигнала ПИП в сигнал, подаваемый на отсчетное или регистрирующее устройство. Отсчетное или регистрирующее устройство служит для считывания или регистрации значения измеряемой величины в аналоговой или цифровой форме.
Обычно ПИП конструктивно выполняется в виде отдельного блока,
называемого измерительной головкой, а измерительное и отсчетное устройства
— в виде измерительного блока. В измерительный блок могут быть включены
дополнительные устройства, например цепи коррекции дрейфа нуля,
температурной и электрической стабилизации и др.
Тепловой метод
Сущность этого метода состоит в том, что энергия излучения при
взаимодействии с веществом приемного преобразователя превращается в
тепловую энергию, которая впоследствии измеряется тем или иным способом.
Для измерения тепловой энергии, выделившейся в ПИП, обычно используют:
—термоэлектрический эффект Зеебека (возникновение ТЭДС между нагретым и холодным спаями двух разнородных металлов или полупроводников);
—явление изменения сопротивления металлов и полупроводников при изменении температуры (болометрический эффект); фазовые переходы "твердое тело- жидкость" (лед-вода);
—эффект линейного или объемного расширения веществ при нагревании и др.
Необходимо отметить, что все тепловые ПИП в принципе являются калориметрами. Однако в литературе сформировались устойчивые названия ПИП, ассоциируемые обычно с некоторой совокупностью характерных признаков, свойственных приемным преобразователям определенных типов (термоэлементы, болометры, пироприемники и пр. ) .
Наиболее широкое распространение для измерения таких усредняемых во времени энергетических параметров лазерного излучения, как энергия и средняя мощность, получили калориметры. Они имеют достаточно конструктивно развитый приемный элемент, не объединенный с чувствительным элементом. К достоинствам калориметров относятся широкий спектральный и динамический диапазон работы, высокая линейность, точность и стабильность характеристик, простота конструкции, возможность их использования с высокоточными, хотя и инерционными цифровыми приборами, возможность калибровки преобразователей по эквивалентному электрическому воздействию.
Любая калориметрическая система (рис.1.1) содержит внутреннее калориметрическое тело К (приемный элемент), в котором протекает процесс выделения (или поглощения) тепла, и внешнюю оболочку О, с которой происходит теплообмен калориметрического тела путем теплопроводности, конвекции и излучения.
Рисунок 1.1 Принципиальная схема калориметра
Тепловой поток Д от калориметрического тела на оболочку зависит
главным образом от разности температур их поверхностей Ф=GT(Tk-To), где GT
— параметр, характеризующий тепловую проводимость cреды между
калориметрическим телом и оболочкой. Часто теплообмен между K и O
характеризуют также обратной величиной RT=1/GT, имеющей смысл теплового
сопротивления среды. Наиболее широкое распространение для измерения таких
усредненных во времени энергетических параметров лазерного изучения, как
энергия и средняя мощность, получили калориметры переменной температуры
(или неизотермические калориметры), у которых в процессе измерения
ТK=f(t)(const. Уравнение теплового равновесия калориметрического тела K с
оболочкой О в таком калориметре в предположении бесконечной
температуропроводности вещества K имеет вид:
(1.1)
где P(t) — мощность, рассеиваемая в калориметре; c — теплоемкость K: T=TK-
TO
У непрерывных лазеров характерным энергетическим параметром, который указывается в паспорте, является мощность лазера P. У лазеров, работающих в режиме свободной генерации одиночных импульсов лазерного излучения, обычно нормируется энергия импульса Wu. Лазеры, работающие в режиме модуляции добротности резонатора и в режиме синхронизации мод, обычно характеризуются значением Wu и дополнительно значением максимальной PUmax или средней PUср мощности импульса. Импульсно-периодические лазеры характеризуются средней мощностью Pср со временем усреднения, значительно превышающим период следования импульсов.
В соответствии с этим рассмотрим некоторые частные решения дифференциального уравнения (1.1).
1. Мощность, рассеиваемая а калориметре, не изменяется во времени, т.е. P(t)=PO=const. Тогда
(1.2)
где (=RTC постоянная времени калориметра.
Максимальное значение Т(t) достигается при t(( и равно Tmax=RT(PO.
2. Мощность в калориметре выделяется в виде периодической последовательности прямоугольных импульсов: PO, (u и q — импульсная мощность, длительность и скважность импульсов соответственно. Можно показать, что в этом случае для значений параметров лазерного излучения, наиболее часто встречающихся на практике ,
(1.3)
3. В калориметре рассеивается энергия одиночного прямоугольного импульса. Температура калориметрического тела в этом случае изменяется во времени следующим образом:
(1.4) при 0(t((u при (u(t(= h(О, где (О — пороговая частота, ниже которой фотоэффект невозможен. Длину волны (О=с/(О называют длинноволновой (красной) границей фотоэффекта. Обычно коротковолновая граница фотопреобразователя ограничивается пропусканием входного окна ПИП.
К фотоприемникам на основе внешнего фотоэффекта относятся вакуумные приборы: фотоэлементы (ФЭ) и фотоэлектронные умножители,
Спектральный диапазон вакуумных ФП зависит от материала фотокатода. В настоящее время выпускаемые промышленностью ФЭ и ФЭУ перекрывают диапазон от УФ (0.16 мкм) до ближнего ИК излучения (1,2 мкм — для серебряно- кислородно-цезиевого катода). Абсолютная спектральная чувствительность ФЭ определяется следующим образом:
S(=QЭФ((/1.24 (1.7)
где QЭФ — эффективный квантовый выход, ( — длина волны излучения, мкм, S( меняется в зависимости от типа и конструкции прибора (10-3…10-1 мА/Вт).
Динамический диапазон, в котором сохраняется линейность преобразования оптического сигнала в электрический, для ФЭ сравнительно большой. Нижний предел ограничен шумами и темновым током ФЭ, верхний — влиянием пространственного заряда и продольным сопротивлением фотокатода, В режиме непрерывного облучения нижний предел может достигать 10-14 А, верхний не превышает 10-4 А. В импульсном режиме верхний предел может быть увеличен до десятков ампер.
Шумы и темновые токи ФЭ сравнительно невелики, однако из-за низкой чувствительности ФЭ нецелесообразно применять их для измерения малых уровней оптических сигналов.
Современные сильноточные временные ФЭ позволяют получать время нарастания переходной характеристики (между уровнями 0.1 и 0.9 от максимального значения) порядка 10-10 с.
ФЭУ обладают высокой чувствительностью благодаря наличию умножительной
(диодной) системы. Если коэффициент вторичной эмиссии i-го диода (i,
коэффициент сбора электронов (i , а m — число каскадов усиления, то
коэффициент усиления ФЭУ:
(1.8)
абсолютная спектральная чувствительность ФЭУ:
S(= S(k(M где абсолютная спектральная чувствительность фотокатода ФЭУ, определяемая аналогично по формуле (1.7).
Чувствительность ФЭУ может достигать (105 А/Вт в максимуме спектральной характеристики. В обычных ФЭУ линейность сохраняется до десятков миллиампер, у современных сильноточных — до единиц ампер.
При измерениях оптических сигналов большой мощности можно увеличить диапазон линейности ФЭУ для больших потоков частично используя динодную систему и снимая сигнал с промежуточных динодов. Нижний предел динамического диапазона ограничен шумами и темновыми токами ФЭУ, которые обычно составляют 10-11…10-5 А. Быстродействие современных ФЭУ лежит в пределах 30...1 нс (1н=10-9 с).
К ФП на основе внутреннего фотоэффекта относятся фоторезисторы,
фотодиоды, фототранзисторы, МДП-фотоприемники и другие полупроводниковые
ФП. Для измерения энергетических параметров излучения наиболее широкое
распространение получили фотодиоды (ФД) и фоторезисторы (ФР).
Действие ФР основано на явлении фотопроводимости, заключающемся в возникновении свободных носителей заряда в некоторых полупроводниках и диэлектриках при падении на них оптического излучения. Фотопроводимость приводит к уменьшению электрического сопротивления и соответственно к увеличению тока, протекающего через фоторезистор.
Общее выражение для абсолютной спектральной чувствительности ФР может быть представлено в виде:
(1.10)
где e — заряд электрона; V — объем освещенности части полупроводника; Q — квантовый выход внутреннего фотоэффекта; ( — подвижность фотоносителей; ( — время жизни фотоносителей; l — расстояние между контактами; u — напряжение, приложенное к ФР.
ФР различных типов перекрывают широкий спектральный диапазон(0.4…25 мкм); большинство из них требует охлаждения до температуры жидкого азота или жидкого гелия, что вызывает дополнительные трудности при их использовании в измерительной аппаратуре в качестве ПИП. Кроме того, они обладают большей инерционностью и невысокой чувствительностью, что также ограничивает их применение для измерений энергетических параметров лазерного излучения.
Наиболее широкое использование для этих целей имеют германиевые и кремниевые фотодиоды. Возникающие под действием излучения неосновные носители диффундируют через p-n-переход и ослабляют электрическое поле последнего, что приводит к изменению электрического тока в цепи. Фототок в широких пределах линейно зависит от интенсивности падающего излучения и практически не зависит от напряжения смещения. Для измерения энергетических параметров излучения обычно используют фотодиодный режим (с питанием), так как при этом диапазон линейности и быстродействие гораздо больше, чем в фотовольтаическом режиме (без питания). Важное значение для работы всех ФП имеет согласование с электронной схемой.
Абсолютная спектральная чувствительность ФД:
S(=((((Q(((1-()/1.24 (1.11)
где ( — коэффициент пропускания окна прибора; ( — коэффициент собирания носителей; Q — квантовый выход; ( — длина волны излучения; (
— коэффициент отражения.
В рабочем спектральном диапазоне абсолютная спектральная
чувствительность составляет десятые доли А/Вт. Область спектральной
чувствительности кремниевых фотодиодов составляет 0.4…1.2 мкм (максимум
около 0,85 мкм), германиевых — 0.3…1.8 мкм (максимум в области 1,5 мкм).
Такие ПИП не требуют охлаждения. Темновые токи у кремниевых ФД примерно на
порядок ниже, чем у германиевых и достигают 10-5…10-7 А, а при специальной
технологии изготовления — 10-9…10-12 А. ФД обладают сравнительно низким
уровнем шумов, что в сочетании с высокой чувствительностью делает, их ФП с
низким порогом чувствительности. Это позволяет использовать ФД для
измерений весьма слабых потоков излучения (до 10-6 Вт)
Инерционность обычных полупроводниковых ФД составляет 10-6…10-8 с, а временное разрешение Ge и Si лавинных ФД достигает 1…10 нс. ФД изготавливают с размерами фоточувствительной площадки примерно от долей мм до 10 мм, а лавинные ФД — до 1 мм.
Для измерения относительно больших уровней мощности и энергии
целесообразно применять ПИП с невысокой чувствительностью, т.е. ФЭ. Для
измерения средних уровней энергетических параметров лазерного излучения
можно применять как вакуумные приборы ( ФЭУ), так и полупроводниковые (ФР,
ФД) . Для измерения малых потоков требуются приемники с высокой
чувствительностью и низким уровнем шума. Фотодиоды уступают по
чувствительности ФЭУ. Однако ФД обладают низким уровнем шума. Это позволяет
применять ФД для измерения малых потоков не непосредственно, а с помощью
усилителя. В этом случае ФД вполне могут конкурировать с ФЭУ, а в ряде
случаев и превосходить их по характеристикам.
Основные преимущества ФД по сравнению с ФЭУ: небольшие габариты, низковольтное питание, высокая надежность и механическая прочность, более высокая стабильность чувствительности, низкий уровень шумов, лучшая помехозащищенность от электрических и магнитных полей.
Недостатки ФД по сравнению с ФЭУ: меньшее быстродействие для большинства ФД, более сильное влияние температуры на параметры и характеристики прибора.
Для измерения временных параметров лазерного излучения следует применять наиболее быстродействующие фотоэлектрические приемники — ФЭ, для измерения малых потоков — ФЭУ и лавинные ФД.
Для измерения мощности лазерного излучения в непрерывном режиме могут быть использованы как вакуумные, так и полупроводниковые ФП, поскольку здесь не требуется их высокого быстродействия.
Пондеромоторный метод
В пондемоторных измерителях энергии и мощности лазерного излучения
используется эффект П. Н. Лебедева . Лазерное излучение падает на тонкую
приемную металлическую или диэлектрическую пластину и давит на нее.
Давление (сила) измеряется чувствительным преобразователем.
Рисунок 1.4 Функциональная схема крутильных весов
Для измерения давления излучения используют различные преобразователи:
емкостные, пьезоэлектрические, крутильные весы на механическом и магнитном
подвесе, механотроны. Первые два типа большого распространения не получили
из-за малого значения коэффициента преобразования, малой помехоустойчивости
и сложности системы отсчета и регистрации. Наиболее широко применяются
крутильные весы — классический прибор для измерения малых сил. Схема
устройства приведена на рис.1.. На растяжках или подвесе 1 укреплено
коромысло 2 с приемным крылом 3, противовесом 4 и зеркалом 5, расположенным
в вакуумированной камере. При попадании оптического излучения на приемное
крыло подвижная система отклоняется от положения равновесия на некоторый
угол, по величине которого можно судить о значении оптической мощности или
энергии. Крючок 6 предназначен для крепления груза при калибровке весов
(определения их момента инерции и жесткости подвеса).
Из решения уравнения движения крутильного маятника можно получить значение угла поворота ( приемной пластины 3 при воздействии на нее непрерывного излучения мощностью P
(1.12)
где ( — коэффициент отражения пластины; ( — коэффициент пропускания
входного окна камеры; l — расстояние от оси пучка излучения до оси
вращения; ( — угол падения излучения на пластину; c — скорость света; K —
жесткость подвеса. Аналогичное выражение можно получитъ для максимального
угла разворота пластины (max — под действием импульса излучения энергией
Wu:
(1.13)
где J — момент инерции вращающейся системы. Углы поворота отсчитываются на шкале 8 по отклонению светового пятна от лампочки 7 (рис. 1.4). При известных параметрах системы формулы (1.12) и (1.13) позволяют определить энергию и мощность излучения в абсолютных единицах.
В настоящее время в конструкцию пондеромоторных измерителей введено
много усовершенствований, которые позволили улучшить их эксплуатационные и
метрологические параметры. Прежде всего оказалось возможным отказаться от
вакуумирования и использовать атмосферное давление воздуха в камере.
Применение в качестве приемных элементов прозрачных диэлектрических пластин
вместо отражающих металлических позволило увеличить верхний предел
изменения энергии излучения (до 104 Дж). Такие устройства позволяют
измерять мощность лазерного излучения, начиная с единиц миливатт, и энергию
импульсов в десятые доли джоуля.
Для отсчета угла поворота крутильных весов часто используют емкостный
преобразователь. В этом случае пластина противовеса является одной из
пластин конденсатора, включаемого в резонансный контур генератора. При
повороте подвижной системы емкость конденсатора, а значит, и частота
генератора меняются, изменение частоты измеряется частотным детектором.
Чувствительность такой системы очень высока, но сама система громоздка и
сложна в настройке и управлении.
Другим способом реализации высокочувствительной системы отсчета
является схема с двумя фоторезисторами, которые включены вместе с двумя
постоянными резисторами в мостовую схему. В положении равновесия мост
сбалансирован. При отклонении системы освещенность фоторезисторов меняется,
мост разбалансируется и в его измерительной диагонали появляется ток,
пропорциональный углу поворота, который регистрирует микроамперметр.
Подобные системы индикации используются в гальванометрических
фотоусилителях Ф117, Ф120, имеющих чувствительность около 0.1 А/рад, что
позволяет измерять минимальный угол отклонения порядка нескольких угловых
секунд.
Рисунок 1.5 Магнитный подвес в пондеромоторном измерителе
Увеличение чувствительности в пондеромоторных измерителях и улучшение развязки подвижной системы от толчков и вибраций достигнуты при помощи бесконтактного подвеса в магнитном поле (рис. 1.5). Подвижная система 1 с приемной пластиной 2, противовесом 3 и ферромагнитным якорем 4 подвешена в магнитном поле соленоида 5 внутри камеры. Ток соленоида регулируется специальной автоматической системой, состоящей из датчика 6, линейного 7 и дифференциального устройства 9. При изменении вертикального положения системы в ответ на сигнал датчика вырабатывается сигнал обратной связи, усиливающий или ослабляющий ток через соленоид и стабилизирующий положение системы. Поперечная устойчивость обеспечивается радиальным градиентом напряженности поля соленоида.
Помимо крутильных весов для измерения используются механотроны, которые представляют собой электровакуумный прибор с механически управляемыми электродами. При воздействии внешнего механического сигнала в механотроне происходит перемещение одного или нескольких подвижных электродов, что вызывает соответствующее изменение анодного тока.
Рисунок 1.6Схема устройства диодного механотрона
Отечественная промышленность выпускает ряд механотронных
преобразователей, оформленных в виде обычных электронных ламп с октальным
цоколем (6MXIБ, 6MXЗС и др.) и в миниатюрном оформлении с гибкими выводами
(6MXIБ и т.п.). Конструкция этих механотронов показана на рис. 1.6. Сам
механотрон представляет собой диод с плоскопараллельными электродами. В
стеклянном баллоне 1 находятся неподвижный катод 2 с подогревателем 3 и
подвижный анод 4, жестко соединенный со стержнем 5, который впаян в гибкую
мембрану 6. Входной механический сигнал (сила F) подается на внешний конец
стержня. При этом подвижный анод перемещается относительно неподвижного
катода, что приводит к изменению анодного тока и выходного сигнала
преобразователя, который для измерения включают в мостовые схемы.
Чувствительность механотронов не превышает 10 мА/г (или по мощности 10-
9 А/Вт). Такое значение чувствительности при величине флуктуаций тока 0.1
мкА, вызываемых температурным дрейфом, толчками и вибрациями, дает
возможность уверенно измерять давление непрерывного излучения более 1кВт.
Если излучение промодули ровать так, чтобы подвижная система механотрона
вошла в резонанс, нижний предел измерения может достичь 100 Вт. Поэтому
механотронный преобразователь обычно применяют для измерения больших
уровней мощности и энергии импульсов лазерного излучения, например
непрерывного излучения мощных СО2-лазеров и импульсного на стекле с
неодимом.
Опыт, накопленный при разработке и эксплуатации различных типов измерителей энергии и мощности лазерного излучения, позволяет сделать заключение об областях применения, достоинствах и недостатках различных методов.
К достоинствам теплового метода измерения энергетических параметров лазерного излучения относятся широкие спектральный и динамический диапазоны измерения, простота и надежность измерительных средств. В настоящее время в некоторых калориметрических измерителях достигнута наиболее высокая точность измерения, а при использовании пироэлектрических приемников излучения и быстродействующих термоэлементов и болометров удалось получить быстродействие до единиц наносекунд.
К недостаткам теплового метода можно отнести малое быстродействие и чувствительность как раз тех тепловых приборов, которые обеспечивают наиболее высокую точность измерения.
В приборах, основанных на фотоэлектрическом действии излучения, достигаются максимальная чувствительность и быстродействие; это позволяет использовать их в качестве измерителей формы импульсов и импульсной мощности вплоть до субнаносекундного диапазона. Недостатками таких приборов является сравнительно узкий спектральный диапазон и обычно невысокий верхний предел измерения мощности (энергии), а также большая погрешность измерений (5…30%) по сравнению с тепловыми приборами.
Преимущество пондеромоторного метода — высокий верхний предел измерения энергии и мощности излучения при достаточно высокой точности абсолютных измерений. Основной недостаток — жесткие требования к условиям эксплуатации (особенно к вибрации) и, вследствие этого, ограничения к применению в полевых условиях.
Измерение основных параметров импульса лазерного излучения
Как известно ряд активных сред в силу принципиальных или технических ограничений обычно работают в импульсном режиме генерации, Сюда в первую очередь относятся лазеры на самоограниченных переходах — азотный лазер, генерирующий в УФ диапазоне ((=337,1 нм), и лазер на парах меди, дающий мощные импульсы зеленого излучения ((=510,5 нм), Еще более широко распространены рубиновые лазеры и лазеры на неодимовом стекле, импульсный характер генерации которых обусловлен прежде всего особенностями системы накачки и охлаждения активной среды. И наконец, в некоторых наиболее ответственных случаях для повышения пиковой мощности излучения некоторые лазеры переводятся в режим управляемой генерации; при этом наиболее часто используются методы управления добротностью резонатора для получения так называемого гигантского импульса и синхронизации продольных мод с целью получения пикосекундных (правильнее — сверхкоротких) импульсов.
В результате возникает задача измерения основных параметров генерируемого лазером импульса излучения. Очевидно, что наиболее простым было бы построение измерений по схеме получения абсолютной зависимости мощности излучения от времени P(t) с последующим извлечением из нее всех интересующих величин — обычно это пиковая мощность Pu,max=P(t*), энергия импульса
и его длительность (t. Однако точность таких измерений
обычно невелика. Поэтому, как правило, разделяют измерение временных (Рmax
и (u) и энергетических (W) параметров, что кроме повышения точности
получаемых результатов позволяет упростить сами измерения. При этом
измерение энергии импульса проводится обычно с помощью калориметрического
измерителя (см.1.1), обеспечивающего наибольшую точность, или фотодиода с
последующим интегрированием фототока, а измерение зависимости Р(t) — с
помощью фотоэлектронного приемника с высоким временным разрешением. Именно
по такой схеме построены серийные приборы марок ФН и ФУ, рассчитанные на
работу в диапазоне 0.4…1.1 мкм при энергии в импульсе 10-3…10 Дж и пиковой
мощности 104 …108 Вт; при длительности импульса (u =2.5…5(10-9 с и частотой
повторения F < 1 кГц погрешность измерения энергии (E(20%, а мощность около
25%.
Анализ параметров импульса с помощью осциллографа.
Для измерения формы импульса и его временных параметров (в частности,
длительность импульса (u, времен нарастания и спада и т.п.) используют
быстродействующие фотоприемники с высокой линейностью световой
характеристики. К ним, в первую очередь, относятся специально разработанныt
во ВНИИОФИ коаксиальные фотоэлементы серии ФЭК, рассчитанные на нагрузку 75
Ом и напряжение питания 1000 В; их временное разрешение (собственная
постоянная времени) колеблется в пределах от 10-9 до 10-10 с, и
максимальный фототок от 1 до 7 А у разных марок, отличающихся конструкцией
и типом фотокатода.
Таким образом, вопрос об эффективном преобразовании светового импульса
в электрический в первом приближении (по крайней мере для лазеров с
"гигантским" импульсом) можно считать решенным. Для исследования формы
полученного электрического импульса используются как обычные универсальные
осциллографы с полосой пропускания до 107 Гц, так и специальные скоростные
осциллографы с полосой пропускания 1...5 ГГц и чувствительностью (1 мм/В.
Последние обычно не имеют усилителя (вертикального входа), и сигнал в них
подается непосредственно на верительные отклоняющие пластины, что и
обеспечивает широкую полосу пропускания, но при низкой чувствительности к
входному сигналу. Дальнейший анализ осциллограммы проводится по ее
фотоснимку, а также при использовании ЭЛТ с длительным свечением люминофора
или с накоплением заряда и последующим его многократным считывании.
Ввиду плохой воспроизводимости параметров лазерных импульсов использование стробоскопических методов исследования не обеспечивает необходимой точности измерений и потому обычно не практикуется.
Изучение формы сверхкоротких лазерных импульсов
Как указывалось в 1.1.2, наиболее быстродействующие фотоэлектрические
приемники излучения имеют постоянную времени 10-10 …10-9 с, т.е. с их
помощью можно надежно исследовать только "гигантские" импульсы, типичная
длительность которых составляет 10-8 с, а времена нарастания и спада могут
быть значительно короче. Поэтому при исследовании временных зависимостей в
случае наиболее коротких гигантских импульсов и, особенно, пикосекундных
импульсов используют косвенные методы, основанные на применении временной
развертки, используемой в электронных и оптических осциллографах. В
настоящее время принцип сверхскоростной временной развертки реализован как
на базе оптико-механической развертки с растрами (кинокамера типа "лупа
времени"), Что позволяет зарегистрировать Набор малоинформативных двумерных
изображений с частотой съемки 105…108 кадр/с, так и на базе непрерывной
одномерной (щелевой) оптико-механической развертки (щелевые
фоторегистраторы) с временным разрешением от 10-7 до 3(10-9 с. Таким
образом, использование оптико-механической развертки не позволяет сколько-
нибудь существенно улучшить временное разрешение, обеспечиваемое
малоинерционными фотоприемниками, но позволяет получить набор двумерных
(например, распределение по поперечному сечению пучка) или одномерных
(одномерное сечение пучка, спектр и т.п.) изображений, правда, только для
излучения лазеров УФ, видимого и ближнего ИК диапазонов, что определяется
ограниченным спектральным диапазоном используемых фотопленок.
Поэтому в некоторых случаях применяют электронную развертку одно- или
двумерных электронных "изображений", поступающих с фотокатода (сурьмяно-
цезиевого, многощелочного или кислородно-цезиевого, что оговаривается при
заказе конкретного прибора) ЭОПа. В случае использования кислородно-
цезиевого фотокатода "красная" граница достигает 1.3 мкм. Однако более
существенным преимуществом используемых для высокоскоростной регистрации
ОЭПов является значительное усиление яркости регистрируемого изображения —
до (103…108 )х в многокаскадных (2…6) приборах; это важно при регистрации
маломощных пикосекундных импульсов. В зависимости от электронной системы
развертки можно получить 9…12 отдельных кадров (двумерных изображений) с
временем экспонирования до 10-9…5(10-13с, что обеспечивается отдельным
электронным затвором, расположенным обычно у фотокатода. Частота смены
кадров, обеспечиваемая за счет синхронной работы двух взаимно
перпендикулярных систем электростатического отклонения (всего пучка
фотоэлектронов), гораздо ниже, что затрудняет исследование динамики
процесса генерации.
По этой причине ЭОПы с разверткой обычно используют для исследования
только временных зависимостей интенсивности сфокусированногованного
(монохроматическим объективом) пучка излучения пикосекундного лазера.
Применяемая при этом одномерная (обычно линейная) развертка может иметь
скорость до 1010 см/с, что обеспечивает получение на выходном
люминесцентном экране ((40 мм) с разрешением от 5…10 лин/мм (в 5-6-
каскадных ЭОПах) до 50 лин/мм (в однокаскадных) временной разрешающей
способности 10-11 с. Рекордная скорость одномерной (спиральной) развертки
(6(1010 см/с) достигнута в ЭОПе "Пикохрон-1" за счет использования на
отклоняющих пластинах СВЧ-напряжения (( = 3 см); соответственно при разрешающей способности (не экране) 5 лин/мм
временное разрешение моют достигать 5(10-13 с, что соответствует временным
разбросам пролета электронов в пучке, и поэтому не может быть улучшено
повышением скорости развертки. Характерно, что для обеспечения
удовлетворительных яркости характеристик выходного сигнала (спирали на
люминесцентных экранах) "Пикохрон-1" имеет шестикаскадную систему усиления,
в результате чего яркость возрастает в 107…108 раз по сравнению с исходной
(но существенно падает разрешающая способность выходного "изображения").
Таким образом, вопрос исследования временных зависимостей генерации
пико- и даже фемтосекундных импульсов лазерного излучения можно считать в
первом приближении решенным. Однако сложность, высокая стоимость,
громоздкость и необходимость высококвалифицированного обслуживания
затрудняет в некоторых случаях практическое использование камер с оптико-
механической и электронной развертками.Поэтому в заключении данного пункта
целесообразно рассмотреть внешне достаточно простой чисто оптический способ
измерения длительности пикосекундных импульсов, в котором используется
оптическая "развертка" (со скоростью света) при прохождении излучения в
нелинейном (по интенсивности) веществе, за счет чего и достигается
"визуализация" светового импульса.
Рисунок 1.7. Схема измерения длительности пикосекундных импульсов методом нелинейной (двухфотонной) люминесценции.
"Световая" развертка была предложена в 1967 г. Джордмейном для использования длительности пикосекундных импульсов при распространении двух одинаковых световых пучков навстречу друг другу в растворе нелинейно люминесцирующего красител